摘要：提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法，该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算．考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲，提高了吸合电压的计算精度．实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高，能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量．

关键词：悬臂梁 吸合电压 平均应力梯度 弹性模量 

单位：南京师范大学光电技术江苏省重点实验室; 江苏南京210097; 东南大学MEM教育部重点实验室; 江苏南京210096