摘要：现行的ULSI正在并将继续沿着Moore定律高速发展．在其前进道路上会遇到哪些物理障碍,要解决哪些技术课题？当CMOS技术达到或接近其发展极限后,后续的信息电子学（包括纳电子学、bio-inspired电子学和量子信息处理等）前景又将如何？本文基于ULSI芯片的性能能量效率观点,对相关问题进行讨论．

关键词：ulsi性能能量效率 片上系统 纳电子学 量子信息处理 

单位：清华大学微电子学研究所; 北京100084