摘要：本文基于阵列波导光栅（AWG）的传输理论,利用含氟聚合物（PFS-co-GMA）共聚物材料,对17×17信道光谱响应平坦化AWG波分复用器进行了参数优化.由于在聚合物阵列波导光栅器件的制备过程中,选用了反应离子刻蚀（RIE）工艺和蒸汽回溶技术,形成的梯形截面波导芯,使AWG传输的光产生相位移,导致传输光谱移动,引起串扰的变化.为此我们运用等效能流分析方法对矩形截面AWG器件的参数进一步修正,通过优化设计弥补了工艺的不足.实验测试结果表明：AWG中心波长约为1550.865 nm,3-dB带宽约为0.478 nm,中心波长插入损耗约为10.5dB,串扰约为-21.5dB.

关键词：集成光学 阵列波导光栅 光谱漂移 梯型截面 等效能流 

单位：吉林师范大学信息技术学院; 吉林四平136000; 集成光电子学国家重点联合实验室; 吉林长春130012