摘要：微影工艺技术在IC制造中一直扮演着举足轻重的角色,随着IC产品技术需求的提升,微影技术也需不断地提高分辨率以制作更微小的特征尺寸(feature size).

关键词：ic制造 193纳米 微影湿浸式技术 特征尺寸 极短紫外光微影 

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