摘要：现代科技一路向前急驰，带给人们更多超越想象的亨受与便利之外，也在半导体制造厂商的头上高悬了一把达摩克利斯之剑。电子产品轻薄小巧的趋势以及价格竞争的压力推动半导体制程朝向纳米时代迈进，目前90纳米尚未全面普及应用，已有厂商试水65纳米、甚至更尖端的45纳米。

关键词：绘图机 绘图精度 电子束 半导体制程 纳米时代 

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