摘要：定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分．特别是对高精度的仪器尤为重要。精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统。

关键词：光栅位移检测系统 闭环伺服控制 测量控制 光纤光栅传感器 

单位：中国计量学院; 杭州310018