摘要：介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理，该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成，压阻薄膜连接组成惠斯登电桥，以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件AN-SYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析，以达到优化设计的目的。

关键词：mems 压力传感器 有限元分析 

单位：韩国全北国立大学; 全罗北道全北561782