硅片缺陷自动检测分类方法探究
邵奇 熊诚雷
电子测试
2015年第07期
摘要:作为电池发电实际效率的重要影响因素,硅片质量具有重要作用。生产硅片的过程中需要综合考虑多种因素,这是因为硅片生产本身具有一定的缺陷。其中,多晶硅片经常性的缺陷主要是纯度不高以及位错缺陷。单晶硅片当中产生的缺陷主要是漩涡缺陷。出现硅片缺陷可能会造成电池片发电能力受到影响,并降低电池的使用寿命。为此,加强对半导体硅片的自动检测分类方法进行研究具有重要意义。
关键词:硅片 缺陷 自动检测
单位:洛阳单晶硅集团有限责任公司 471000
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