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镁合金表面铬掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究

代伟 电子测试 2015年第4X期

摘要:本文利用阳极层离子束混合磁控溅射技术在AZ31镁合金表面制备了类金刚石涂层(DLC)和Cr掺杂DLC膜(Cr-DLC),并利用Raman光谱、残余应力仪、划痕仪、摩擦磨损仪和电化学工作站等,对薄膜的碳结构、残余应力、结合力、摩擦学性能和耐腐蚀性进行了研究。结果表明:相比纯DLC膜,Cr-DLC膜具有较低的残余应力,较高的膜/基结合力。Cr-DLC膜能显著提高镁合金的抗摩擦磨损性能,但对改善镁合金耐腐蚀性能影响不大。

关键词:镁合金cr掺杂类金刚石薄膜摩擦磨损耐腐蚀性

单位:广东工业大学机电工程学院

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