摘要：扫描隧道显微镜因其原子级别的空间分辨率,广泛应用于材料表面表征等领域。其成像分辨率取决于针尖的尖锐度,目前还没有可靠的方法,能够制备出用于高质量的针尖。本文提出了一种利用场致刻蚀技术的方法,能够可控地制备出纳米级的钨针。

关键词：纳米针尖 扫描隧道显微镜 场致刻蚀 

单位：中国电子科技集团公司第三十八研究所; 安徽合肥230088