首页 > 期刊 > 电子测试 > 氮化镓基PIN紫外探测器芯片研究 【正文】
摘要:通过对氮化镓基PIN紫外探测器不同外延结构及芯片制备工艺的研究,发现探测器性能和外延层结晶质量及芯片制备工艺有很大的关系。采用ITO扩展电极制备的探测器反向漏电很大,暗电流高,采用Ni/Au半透明电极制备的探测器芯片,光电流相对ITO透明电极有一定程度的降低,但能保证较低的暗电流,防止器件漏电。
关键词:探测器 紫外 ito
单位:西安中为光电科技有限公司; 陕西西安710065
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