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GaN基外延结构中EBL层生长工艺对发光效率的影响

孟锡俊; 李建婷; 刘大为 电子测试 2019年第12期

摘要:根据量子限域电子溢出理论及极化场引起的能带弯曲理论,我们采用不同工艺的EBL层结构,通过控制Al组分分布,在不影响P-GaN层空穴的注入的情况下,提升电子限制能力,提升芯片的发光效率。

关键词:电子溢出ebl层电子限制能力能带弯曲al组分渐变

单位:西安中为光电科技有限公司; 陕西西安710065

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