摘要：针对以前研究中高场非对称波形电源不足的问题，提出了一种用于FAIMS系统的高场高频非对称波形电源的设计。该电路由方波产生电路、高通滤波器和直流叠加电路3部分组成。方波产生电路采用半桥结构，通过2个MOSFET管的串联，实现了高压方波的输出。利用高通滤波器去除了高频方波中的直流分量，使正方波变成正负面积相等的非对称方波，并进行了理论分析。直流叠加电路通过电阻和电感串联将低压直流信号叠加到高频高压的非对称方波上，同时有效阻隔了高频高压非对称方波对低压直流电源可能造成的损害。还给出了电路的结构，并进行了实验研究。实验结果表明，该电路可以很好地实现非对称方波的自动产生和补偿电压叠加功能，且结构简单。该电路能够输出的最大峰峰值电压为2000V，方波频率为200kHz。

关键词：faims 非对称方波 交直流叠加 高通滤波器 高频 

单位：清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084