摘要：为研究脱除熏蒸后残留硫酰氟气体并达到无害化排放的要求,采用填充式介质阻挡放电等离子体技术进行研究。考察了石英玻璃球和氧化铝球两种不同填充介质下放电电压和能量密度对硫酰氟脱除效率的影响,分析了填充介质对硫酰氟脱除后的产物组成及脱除机理影响。结果表明：在相同电压下,填充氧化铝球时介质阻挡放电对硫酰氟的脱除效率明显高于石英玻璃球;氧化铝球作为填充介质时在能量密度为208J/L能完全脱除硫酰氟,相比填充石英玻璃球情况能耗减少50%以上。填充石英玻璃球时硫酰氟在介质阻挡放电作用下分解产物主要为SiF4,SO2和S;填充氧化铝球时介质阻挡放电可以有效地无害化脱除硫酰氟。

关键词：填充介质 介质阻挡放电 硫酰氟 脱除机理 脱除效率 

单位：浙江工业大学化学工程与材料学院 杭州310014 深圳国际旅行卫生保健中心 深圳518033