摘要：为了结合陶瓷的性能优势和搪瓷的工艺优势,利用先进的等离子喷涂工艺制备了臭氧发生器介质涂层。对涂层进行了微观结构分析和介电性能测试,并设计制作了管式臭氧发生器样机,研究了不同涂层对臭氧产生性能的影响。研究结果显示等离子喷涂涂层满足臭氧发生器的设计要求,且可以获得更高的相对介电常数εr,其中氧化铝（Al2O3）加氧化钛（TiO2）的双涂层方案具有最佳的臭氧生成性能。等离子喷涂工艺具有很强的灵活性,可替代玻璃和搪瓷成为臭氧发生器新的介质层负载工艺,具有良好的应用前景。

关键词：等离子喷涂 臭氧发生器 介质阻挡放电 lissajous图 氧化铝 

单位：清华大学电机工程与应用电子技术系 北京100084 苏州至顺表面科技有限公司 常熟215500