摘要：为获得大面积射流等离子体,建立了大气压Ar气中1维等离子体射流阵列产生装置。通过电压电流波形、发光图像以及发射光谱等手段诊断了其放电特性,研究了外加电压幅值、气体流速和电源频率等对射流阵列产生的影响,得到了阵列最优工作条件,并获得此条件下阵列的放电功率和传输电荷和活性粒子等参数,进而分析了放电的排斥和耦合机制。发光图像拍摄的结果表明：外加电压幅值为8.5 k V,气体体积流量为20 L/min,电源频率20 k Hz时,射流阵列等离子体喷出管口最长,各管间排斥作用和耦合作用最小,放电最强烈,此时放电功率为101.85 W,传输电荷为1 716 n C。阵列中各管间彼此存在Coulomb力和Lorentz力,出现一定偏移是这2个力综合作用的结果。

关键词：低温等离子体 等离子体射流 阵列 放电特性 光谱特性 

单位：南京工业大学自动化与电气工程学院 南京210009 四川大学高分子材料工程国家重点实验室 成都610065