摘要：为了研究真空脉冲放电中放电电流产生的磁场对生成的等离子体的束缚效果，设计了一种锥-螺旋状的真空放电电极结构，借助Ansoft Maxwell 3D电磁场仿真软件，对比分析了锥-筒状电极与锥-螺旋状电极的磁场分布，重点讨论了采用锥一螺旋状电极放电时电极内部自磁场、阴阳电极间的相对位置关系、螺旋状阳极的内径等因素对真空放电等离子体生成特性的影响，并通过朗缪尔探针法对相应条件下的真空放电等离子体参数进行了测量分析。实验与仿真结果表明：利用放电时电流流过螺旋状电极所产生的轴向磁场，可以有效约束部分向四周扩散的等离子体，增大了到达探针位置的等离子体密度；合理优化螺旋状放电阳极，可以增大电极内部的磁场强度，在电极轴向获得更高密度的金属等离子体。

关键词：真空 螺旋状电极 金属等离子体 探针法 脉冲放电 

单位：北京交通大学电气工程学院; 北京100044