摘要：大气压低温等离子体富含高活性粒子，在生物医学、薄膜沉积、环境治理等领域表现出巨大的潜在应用价值。为此，针对不同频率正弦交流电压下大气压氦气平行平板型介质阻挡放电（DBD），开展其放电行为和基本特性的研究，包括放电电流峰值、放电功率、气隙的首次和稳态击穿电压、发射光谱及其微秒放电图像。研究发现：随着频率的增加，更易获得稳定均匀的HeDBD，同时，稳态击穿电压略有下降，首次击穿电压则有所提升；当驱动频率高于一定值时，DBD出现了正负放电不对称和倍周期等非线性行为。进一步对微秒曝光图像和发射光谱的研究表明：在10—90kHz范围内，HeDBD均为大气压辉光放电：与激发态N2和N2^＋相比，激发态OH谱线强度随着频率具有明显的增长趋势。

关键词：大气压氦气 介质阻挡放电 电压频率 放电光电特性 倍周期现象 

单位：西安交通大学电气工程学院电力设备电气绝缘国家重点实验室; 西安710049; 中国石化安全工程研究院化学品安全控制国家重点实验室; 青岛266071