摘要：由于逆导型IGBT（RC-IGBT）具有尺寸小、功率密度高、成本低等诸多优点,因此引起人们的广泛关注和研究。侧重适用于电网应用的高压器件,回顾了RC-IGBT的技术发展,包括原始结构和工作原理、回跳问题的解决、背面掺杂优化、二极管性能优化等方面的内容。基于引导IGBT区结构,还进一步综述了RC-IGBT的功耗优化、关断软度、短路坚固性、二极管浪涌电流和温度特性等性能优势。各方面的技术进步,有望使RC-IGBT在包括电网应用的各种领域中充分发挥其性能优势。

关键词：逆导型igbt 回跳现象 引导igbt区 掺杂优化 性能优势 

单位：北京工业大学信息学部; 北京100124; 先进输电技术国家重点实验室; 北京102209