摘要：脉冲调制射频具有调制频率、占空比、输入功率等多种可调参数,可以较大范围地调节放电等离子体参数,因此其放电特性与传统交流或直流放电相比具有独特的特点。为此研究了在大气压条件下13.56 MHz射频电源系统激励的CO2/Ar气体放电电学特性,主要考察了不同调制参数以及气体组分对初始放电电压、α–γ模式转变电压以及伏安特性的影响。实验结果表明,改变调制参数和气体组分能够很大程度上影响射频放电的击穿特性和伏安特性。其中降低占空比可以提升击穿、模式转变电压和α模式工作范围;降低CO2含量会降低击穿、模式转变电压和α模式工作范围;调制频率对上述特性的影响不呈现单调变化规律。该研究为射频放电等离子体技术提升CO2资源化利用效率提供更多的选择。

关键词：大气压射频放电 调制频率 占空比 模式转变电压 伏安特性 

单位：中国科学院电工研究所电力电子与电气驱动重点实验室; 北京100190; 中国科学院大学; 北京100049; 中国科学院洁净能源创新院; 大连116023