摘要：<正>关键词:军工动态中国电科承担国家科技重大专项取得突破近日,中国电子科技集团公司承担的国家重大科技专项——极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题之一的300mm多线切割机研制成功。该设备具有完全自主知识产权。该设备的研制成功,打破了国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备的现状。

关键词：成套工艺 制造装备 科技重大专项 进口设备 线切割机 

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