摘要：文中从气体放电过程中微观粒子的运动特性出发．针对均匀电场中SF6/CF4混合气体的流注放电特性进行数值模拟。基于两项近似求解Boltzmann方程的方法，得到不同压强、混合比下SF6/CF4的电子能量分布（electron energy distribution function,EEDF）。根据EEDF计算折合电离系数和折合吸附系数，将该放电参数引入流体模型，以气体压强0．1MPa、间隙距离5mm为例模拟SF6/CF4的流注放电过程，研究放电过程中空间电子数密度随时间和空间的变化规律。结果表明：混合比一定时α／N随E／N的增大显著提高,E/N一定时混合气体中CF4体积分数越高α／N值越大；随着电子崩向前发展，崩头的电子迅速增长，放电5ns时电子数密度峰值达到9．7×10^12m-3，当间隙完全击穿，电极间形成等离子体导电通道，此时空间电子数密度分布基本均匀，电子数密度达到10^17数量级。

关键词：流注放电 boltzmann方程 流体模型 数值模拟 

单位：中国电力科学研究院高压所; 武汉430074; 沈阳工业大学电气工程学院; 沈阳110870