摘要：为研究SR混合气体的放电参数特性，文中通过两项近似求解Boltzmann方程得到温度为300K，不同混合比下SF6/N2、SF6/CF4的电子能量分布函数（EEDF）、折合电离系数α/N、折合吸附系数η／N和折合有效电离系数（α-η）／N，与其他文献结果对比，验证了该计算方法与放电参数的有效性。结果表明：SF6／N2、SWCF4两种混合气体都随折合场强E/N增大时，在较低电子能量区域的EEDF减小而在较高电子能量区域的EEDF增大,且SF6-N2混合气体在电子能量为3eV附近存在EEDF的骤降现象，该现象与N2的碰撞参数截面有关，而SF6/CF4混合气体不存在此现象；此外，SF6／N2、SF6／CF4两种混合气体随着折合场强E／N增大，折合电离系数α/N显著增大、折合吸附系：η／N减小，最终折合有效电离反应系数（α-η）／N也均随之增加。

关键词：b0ltzmann方程 

单位：沈阳工业大学电气工程学院; 沈阳110870