摘要：针对晶圆制造系统的多重入特性，提出了层周期、逻辑层数等概念。借鉴物理学中振动理论的基本思想设计调度优化方法，当生产偏离预期的控制目标时，通过人为地施加作用力，即动态调整各产品的加工优先级，使各产品逐渐逼近预期控制目标，保证产品正常产出。进一步的仿真验证也说明了该调度优化方法能在提高订单准时交货率的同时缩短生产周期时间。

关键词：晶圆 多重入 调度优化 

单位：郑州航空工业管理学院工业工程系 河南郑州450015