摘要：利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/Si O2/Si（100）基底和700℃条件下分别制备了Nd和Mg（不同浓度）共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd0.85Ti（3-x）Mg2xO12（BNTM）（x=0.00,0.06,0.10和0.14）,并进行了这一系列薄膜的包括微结构、介电、铁电和漏电流等特性的研究和对比。发现当Mg含量为x=0.10时,薄膜具有较高的剩余极化强度（2Pr=33.40μC/cm^2）和介电常数（ε=538,频率为1k Hz）,其漏电流密度为10-8A/cm^2。讨论了相关的物理机制。

关键词：铁电薄膜 共掺杂 bntm 化学溶液沉积法 

单位：开封大学公共计算机教研部 河南开封475004 开封大学功能材料研究中心 河南开封475004 开封大学信息工程学院 河南开封475004