摘要：随着科技的进步,对硅器件的品质提出更高的要求,但由于碳杂质的存在,严重制约着其稳定性和使用寿命的提高。文章对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量、三氯氢硅中甲基二氯硅烷等相关性进行分析,结果表明:多晶硅碳含量主要受氢气中甲烷含量影响,而三氯氢硅中甲基二氯硅烷对多晶硅碳含量影响不大,实际生产中应将回收氢中甲烷含量控制在5ppmv以下。

关键词：多晶硅 碳 甲烷 甲基二氯硅烷 相关性 

单位：陕西煤田地质化验测试有限公司; 陕西西安710054