摘要：随着膜分离技术在各领域中的应用和推广,也涌现了诸多膜表面改性技术。在诸多表面改性方法中,原子层沉积由于其共形和三维可控的优点而逐渐受到关注。文章将从发展历程、沉积原理和改性方向对原子层沉积技术进行分析,对改性技术的研究和发展提供参考。

关键词：原子层沉积 膜 改性 

单位：同济大学环境科学与工程学院; 污染控制与资源化研究国家重点实验室; 上海200092; 上海污染控制与生态安全研究院; 上海200092