摘要：采用脉冲激光沉积（PLD）法在栽玻片上沉积了Ge-Ga-S—CdS硫系非晶薄膜，利用XRD、分光光度计、扫描电镜、XPS等现代测试手段，研究薄膜的结晶形态、光学性质和成分。结果发现，利用脉冲激光沉积方法获得了可见光透过率为80％、光学质量优良、厚度均匀、没有明显缺陷的Ge-Ga—S-CdS硫系非晶薄膜，XPS光电子能谱结果显示薄膜成分与靶材的成分存在微小的偏差。

关键词：pld法 硫系非晶薄膜 

单位：武汉理工大学材料科学与工程学院; 武汉430070