摘要：本文以开发的碳碳复合材料快速沉积炉为依托,详细介绍碳碳复合材料快速沉积炉(CVI:Chemical Vapor Infiltration)石墨加热器的设计过程,根据设备和工艺使用要求,重点介绍加热保温系统中的加热器设计、加热器表面负荷校核、加热器应力校核。实验结果表明:所设计的石墨加热器满足生产工艺要求;项目在实际生产过程中取得了1mm/h的碳沉积速度;产品在硅单晶炉热场使用中达到了预期使用寿命,成本价与同规格石墨价格接近,满足使用要求。

关键词：碳碳复合材料 气相沉积炉 石墨加热器设计 

单位：中机生产力促进中心; 北京100044; 中国运载火箭技术研究院航天材料及工艺研究所; 北京100076