摘要：电火花线切割半导体加工过程中,工件与钼丝之间的间隙是保证工件表面质量和切割效率的关键参数。分析了单晶硅和钼丝之间的间隙与极间电流的关系,由于该间隙在钼丝切入工件后,无法实时测量,根据电流的变化来实时预估间隙的瞬时变化,从而实时调整工件进给速度以间接保证该间隙。采用系统辨识方法建立极间电流与工件进给速度的控制模型,并利用F检验法估计模型的阶次,选择遗忘因子递推最小二乘在线预估模型参数。设计最小方差自校正控制器对切割过程进行实时控制。试验结果表明所设计的控制器增强了加工系统的稳定性,在保证加工效率的前提下,工件表面有了明显提高。

关键词：电火花线切割 建模 最小方差自校正控制 单晶硅 

单位：西安理工大学机械与精密仪器工程学院; 西安理工大学材料科学与工程学院; 西安现代控制技术研究所