摘要：以一种液压用微机械压力传感器为研究对象,在分析其结构和工作原理基础上,提出了固有频率对加工误差的灵敏度分析方法,得到了对微机械压力传感器固有频率影响较大的尺寸参数,为后续优化和实际加工提供了可控参考。为提高微机械压力传感器的加工稳定性和性能指标,进行了微机械压力传感器结构稳健优化设计,推导了稳健性能约束条件,提出了设计变量、目标函数、尺寸约束条件和模态性能约束条件,建立了微机械压力传感器结构稳健优化的数学模型。稳健优化结果表明,微机械压力传感器的加工稳定性和灵敏度都有了较大提高。进行了实际加工和测试,测试结果表明稳健优化后的微机械压力传感器具有较高的灵敏度。

关键词：液压系统 微机械压力传感器 加工误差 稳健优化 

单位：宁波职业技术学院工程训练中心 浙江宁波315800