线上期刊服务咨询,发表咨询:400-808-1701 订阅咨询:400-808-1721

纳电子机械系统

摘要:纳电子机械系统是基于MEMS技术而提出的一个新概念,是指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体化研究领域,包括特征尺寸在业纳米到数百纳米并以纳米级结构所产生的量子效应、界面效应和以纳米尺度效应为工作特征的器件和系统。

关键词:电子机械系统mems技术纳米技术特征尺寸纳米尺度效应

单位:

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

科学家

部级期刊

¥840.00

关注 33人评论|0人关注