首页 > 期刊 > 科学家 > 纯度99.999999999%电子级多晶硅量产 【正文】
摘要:6月6日,从江苏鑫华半导体材料科技有限公司获悉,经过一系列严格验证、检测,一批集成电路用高纯度硅料出口韩国,同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准,也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。
关键词:多晶硅 纯度 电子级 材料科技 质量标准
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