首页 > 期刊 > 科学中国人 > 成步文:放眼未来 不懈探索 【正文】
摘要:专家档案:成步文,研究员,博士生导师,中国科学院半导体研究所光电子研发中心副主任。目前主要从事Si基半导体异质结构材料的外延生长及相关光电子器件和光电集成技术的研究。在硅基异质结构材料外延设备、材料生长动力学、硅基光电子学器件等方面取得了重要研究成果。
关键词:中国科学院半导体研究所 异质结构材料 光电子器件 硅基光电子学 博士生导师
单位:《科学中国人》编辑部
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