摘要:刘前,国家纳米科学中心科技管理部主任、研究员(教授、博导),中科院研究生院和南开大学兼职教授。代表性工作为:研究获得5个纳米台阶国家一级标准物质;利用Super—P.ENS技术在405激光系统下获得最小记录点小于80纳米,为我国超高密度光存储探索了一条可行的技术路径;研制成功拥有全部知识产权的新概念超分辨无掩膜纳米光刻机系统,最小打孔直径可达50纳米;建立了一种可大面积实现、可设计、可套刻,工艺简单和加工成本低的新型微纳加工方法;研制成功的金属掩模制造新方法获得了美、日、中发明专利,打破了国际专利垄断;研制成功了具有正交网格结构的热电薄膜材料等。
关键词:国家纳米科学中心 超高密度光存储 科研 一级标准物质 激光系统
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