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耗尽型VDMOS制造方法及其应用研究

孙晓儒 科学中国人 2016年第12Z期

摘要:现如今我国的工业自动化程度也在不断的提高,VDMOS器件的重要性也不断的显现出来。针对我国当前的VDMOS发展现状,相关的学者也进行了深入的研究,已经比较成熟。VDMOS器件主要是由两种类型的器件组成的,即增强型VDMOS器件和耗尽型VDMOS器件,而本文的主要目的就是研究耗尽型VDMOS器件的制造方法和具体的应用情况。

关键词:耗尽型vdmos制造方法应用研究

单位:福建省福芯电子科技有限公司

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