摘要：为使激发微波等离子体的腔体设计更便捷并详细了解腔内的电场分布，迫切希望有仿真工具支持。该文介绍了一台环形波导微波等离子体设备，利用一种有限元软件对反应腔内的电场分布和功率密度进行仿真，并运用光电探头和水负载温升法实际测量反应腔内的对应参数。实验结果表明：反应腔内的电场分布、功率密度均与仿真结果大致接近，证实运用此种计算工具对微波等离子体反应腔进行数字化设计是可行的。同时，该软件仿真得到的腔内电场分布，能够为微波等离子体激发过程的研究提供指导。

关键词：微波等离子体 电场强度 环形波导 有限元软件 

单位：清华大学电机工程与应用电子技术系 北京100084