摘要：双辉TiN表面显微图(图5、图6),溅射时间分别为3h与5h.从图像上看,两者基本没什么区别,只是5h显得更凹凸不平,说明沉积时间长,表面粗糙度会增大,但是对厚度基本上没有太大影响.

关键词：表面陶瓷化 耐腐蚀性能 碳钢 沉积时间 表面粗糙度 

单位：山西焦化集团公司焦化二厂山西洪洞县广胜寺; 041606