摘要：分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象，给出了等离子源故障诊断与排除方法。
关键词：真空镀膜机 等离子源 加热器
单位：中国空空导弹研究院; 河南洛阳030信箱21分箱471009
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