摘要：低温加工区域容积为300mm×300mm×250mm，加工区中心温度在-30--40℃范围内，采用R502作为制冷剂进行蒸汽压缩式循环制冷，通过温度监测，建立了温控加工区三维温度界面场，可以满足加工设备对低温加工区域的需求。

关键词：低温加工区域 温度控制 制冷设备 

单位：北京联合大学机电学院; 北京市朝阳区白家庄西里100020; 不详