摘要：真空镀膜机使用中出现真空摆动故障，原因是真空镀膜机抽气系统抽气能力不稳定与压升率达不到所致。提出维修方案，对所出现的故障逐一维修。

关键词：真空镀膜机 故障分析 维修 

单位：中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 北京市