摘要：运用器件模拟软件模拟了pn结6H—SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性．讨论了不同掺杂浓度、不同器件结深对响应灵敏度的影响．对于p^+n结器件，当受光面为p^+层，且厚度约为0．2μm、浓度约为9×10^18cm^-3、n层浓度约为1×10^16cm^-3时，器件有较大的响应灵敏度，R=167．2mA／W；当受光面为n^+层，且厚度约为0．2μm、浓度约为9×10^18cm^-3、p层浓度约为1×10^16cm^-3。时，器件有较大的响应灵敏度，R=183．5mA/W．通过比较可知，模型能较好地反应实际情况，与实验数据符合较好．

关键词：紫外光探测器 pn结 器件模拟 掺杂浓度 厚度 

单位：西安电子科技大学微电子研究所，西安710071