摘要：结合对向靶直流磁控溅射技术、微电子光刻方法和原子力显微镜阳极氧化加工方法制备了实用的纳米钛-钛氧化线-钛隧道结，钛膜的厚度为3．02nm．钛氧化线的宽度为60．5nm，在室温下此隧道结的I-V曲线表现出明显的库仑阻塞效应．

关键词：原子力显微镜阳极氧化 钛氧化线 隧道结 库仑阻塞效应 

单位：南开大学现代光学研究所; 天津300071; 精密测试计量技术及仪器国家重点实验室、天津大学精密仪器与光电子工程学院; 天津300072; 天津大学电子信息工程学院; 天津300072