摘要：提出一种新的图像复原式整形环形光横向超分辨共焦显微测量法.该方法首先利用二元光学器件,将高斯照明光束整形为环形光束,用于初步改善共焦显微镜的横向分辨力,然后利用基于最大似然估计法（maximum likelihood estimate,MLE）的单幅图像超分辨复原技术,重建测量图像的高频信息,来进一步改善共焦显微镜的横向分辨力.实验表明,当λ=632.8nm,N.A.=0.85时,该方法能使共焦显微镜获得优于0.1μm的横向分辨力.利用该方法建立的横向超分辨共焦显微系统除了具有显著的超分辨效果外,还具有低成本的优点,因而该方法为共焦显微系统横向分辨力的改善提供了一种新的技术途径.

关键词：超分辨 超分辨复原 最大似然估计 共焦成像 

单位：哈尔滨工业大学自动化测试与控制系; 哈尔滨; 150001