摘要:应用特征矩阵法研究了非均匀渐变界面Al.09Ga0.1As/AlyGa1-yAs/GaAs/AlxGa1-xAs DBR的光学特性。建立了非均匀渐变界面AlyGa1-yAs的折射率模型,并得到了渐变界面特征矩阵的解析解,通过特征矩阵法分别计算了突变GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR和渐变DBR的反射谱和反射相移,分析了非均匀渐变层对DBR光学特性的影响,对渐变DBR,需要在DBR前面再增加一定厚度的非均匀渐变相位匹配层才能使整个DBR满足中心波长相位匹配条件,并通过光学厚度近似方法求出相位匹配层厚度。
关键词:dbr 反射谱 反射相移 特征矩阵法
单位:中国科学院半导体研究所; 北京100083
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