摘要：在分析沙漏状X射线组合折射透镜（X-ray compound refractive lens,XCRL）的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

关键词：组合折射透镜 背面曝光 沙漏状 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春130033 中国科学院研究生院 北京100049 浙江工业大学 杭州310032 中国科学院高能物理研究所 北京100049