摘要：本文优化设计和外延生长了一种单行载流子（UTC）光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移-扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.UTC光电探测器理论模拟结果与实测数据基本相符.

关键词：单行载流子 光电探测器 空间电荷屏蔽效应 

单位：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室 北京100086