摘要：报道了利用出射面加工有微棱锥结构抗反射层的GaP晶体THz发射器产生超快THz脉冲.基于微结构界面等效折射率渐变原理,设计并利用超精密微加工技术在GaP块状THz发射器出射面加工了亚波长微棱锥结构层,用以提高所产生的THz波的耦合输出.实验验证了该微结构层能提高所产生的THz波的耦合输出效率,并能够有效散射剩余抽运光,提高系统运转的稳定性.

关键词：超快thz波 微纳加工 微棱锥 抗反射层 

单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院 超快激光研究室 太赫兹波研究中心 光电信息技术教育部重点实验室 天津300072