摘要：本文首先利用悬浮型微波共振探针测量了Ar等离子体的电子密度,并与朗缪尔双探针的测量结果进行了比较,表明了微波共振探针在低密度等离子体测量的可行性.对40.68 MHz单射频容性耦合Ar/SF_6和SF_6/O_2等离子体的测量结果表明：电负性气体SF_6掺入Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度,但随着增加SF_6的流量,电子密度表现为缓慢下降;而O_2掺入SF_6等离子体中,电子密度则随着O_2流量的增加表现为持续的下降.另外,40.68 MHz/13.56 MHz双频激发的SF_6/O_2容性耦合离子体的电子密度并不随低频功率的变化而变化.本文对上述的实验现象进行了初步的解释.

关键词：电负性等离子体 微波共振探针 电子密度 

单位：苏州大学物理科学与技术学院 江苏省薄膜材料重点实验室 苏州215006