摘要：本文介绍了micromegas探测器的主要工艺一micro-bulk工艺.并使用^55Fe放射源对制作完成的micro-bulk工艺原理探测器进行了测试,对比了与绝缘丝工艺原理探测器能量分辨率的差别,并进一步研究了micro-bulk工艺探测器电子透过率等性能测试的结果.

关键词：micromegas 

单位：中国科学院高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室 北京100049 中国科学院研究生院 北京100049